Editor's Comment

2026년 6월 초, 국내 한 반도체 제조 공장의 가스룸에서 불소와 질소를 혼합하는 과정 중 화재가 발생해, 인명 피해와 대규모 인원 대피로 이어졌습니다.

고용노동부는 이 사고 직후, 반도체 제조업 25곳에 대해 유해 화학물질·고압가스 취급 위험요인 점검에 들어갔습니다.

반도체 공정과 정밀화학 공정을 다루는 현장이라면, 설비를 열고 점검·보수하는 그 순간의 리스크는 규모와 무관하게 똑같이 존재합니다.

클린룸은 미세입자 관리를 최우선으로 하는 공간입니다.
하지만 청정도가 유지되는 공간이라고 해서 작업 위험까지 사라지는 것은 아닙니다.

반도체 제조 과정에서는 다양한 화학물질과 가스가 사용되고, 설비 내부에는 전기·고전압·고에너지 장치가 함께 작동합니다.
설비 점검·유지보수, 배관과 호스를 교체하는 과정에서 작업자가 설비에 직접 접근해야 하기 때문에 작업자에게 위험한 순간들이 생길 수 있습니다.

그래서 화학물질 현장에서 오염에 바로 대응하려면 클린룸이라는 특수 현장에 맞는 안전용품이 필요합니다.

여기서 구조적인 의문이 발생합니다.

"습기 및 오염 관리가 엄격한 클린룸에서는 어떤 안전용품을 사용해야하지?"

이번 뉴스레터에서는 반도체 공정 내 화학물질 노출 위험 요소를 짚어보고, 클린룸 청정도 기준을 준수하면서 설치할 수 있는 안전용품 검토 기준을 살펴보겠습니다.

반도체 공정이 정상 가동 중일 때는 작업자가 화학물질에 노출될 위험이 상대적으로 적습니다. 하지만 정기 점검(PM)이나 배관 교체 같은 유지보수 작업에서는, 불산·황산·질산 같은 유해 화학물질에 직접 노출될 위험이 커집니다.

작업 직전 MSDS(물질안전보건자료)를 숙지하는 것만으로는 부족합니다.
사고 전 부터, 현장에서는 언제든지 대응할 준비가 돼 있어야 합니다.

이번 뉴스레터에서는 화학물질 노출에 대응하는 방법을 3단계로 정리해 보았습니다.

" 안전한 내화학 테이프의 특징 "

1️⃣ 보호복 틈새 완벽 밀봉 침투 방지

 소매, 발목, 후드 등 보호복 연결 틈새를 봉해 화학물질 침투를 막습니다.

2️⃣ 잔여물 없는 깔끔한 제거와 쉬운 절단

특수 점착제로 제거 시 설비에 끈적임이 남지 않고 손으로 쉽게 절단하여 사용할 수 있습니다.

이처럼 보호복 틈새를 막는 내화학 테이프를 구비하면 작업자의 직접 노출 위험을 줄일 수 있습니다.

반도체를 제작시 웨이퍼를 세척하고 깎아내는 과정에서 불산, 황산 같은 강한 화학물질을 사용합니다. 이런 물질이 피부나 눈에 닿으면 화상을 입거나 시력을 잃을 위험이 있습니다.

특히 불산은 피부에 노출된 직후 통증이나 피부 손상이 뚜렷하게 나타나지 않을 수 있습니다. 그러나 피부 조직 깊숙이 침투해 시간이 지나면서 심각한 조직 손상을 유발할 수 있어, 초기 증상만으로 노출 정도를 판단해서는 안 됩니다.

그래서 산업안전 보건 기준에서도 화학물질이 몸에 닿는 즉시 대응 할 수 있도록

세척시설을 설치해두고, 만약 사고가 나면 10초이내 도달할 수 있는 곳에 설치하도록 권고하고있습니다.

" 안전한 비상샤워기의 특징 "

1️⃣ 분당 80L 이상, 잠그지 않는 한 계속 열려 있는 급수
물줄기가 끊기지 않아야 세척을 15분 이상 이어갈 수 있어야 합니다.

2️⃣ 원터치로 1초 이내 작동하는 조작밸브
당황한 상태에서도 한 번에 조작할 수 있어야 바로 씻어낼 수 있습니다.

3️⃣ 위험물질 취급지역에서 10초 이내 도달 가능한 위치에 설치
화장실까지 뛰어갈 필요 없이, 사고 자리에서 세 걸음 안에 손이 닿아야 합니다.

4️⃣ 샤워기 중심 반경 45cm 이내 방해물 금지
짐이나 장비 또는 계단, 문등 샤워기 까지 가는 길에 방해물이 없어야합니다.

"샤워기를 사용할 때 물이 튀면 웨이퍼나 설비가 상하지 않나요?"

반도체 현장에서는 비상샤워기 사용으로 인한 세척수의 비산과 배수 문제를 우려할 수 있습니다. 하지만 화학물질에 작업자가 노출된 상황에서는 신속한 세척을 지체하지 않는 것이 중요합니다.

따라서 클린룸에 비상샤워기를 설치할 때는 단순히 설비를 배치하는 것에 그치지 않고, 세척수의 비산을 줄일 수 있는 부스형 비상샤워장치나 주변 장비와의 이격, 배수 및 오염수 처리 환경 등을 함께 검토할 필요가 있습니다.

이어서 공정 내 화학물질 사고를 사전에 차단하고 확산을 막는 예방 솔루션을 살펴보겠습니다.

방치하면, 다음 사람이 밟을 수 있습니다.

바닥에 소량 고인 화학물질은 먼지 발생이 적은 케미컬 전용 흡착로 즉시 덮어 흡수해야 합니다. 하지만 누출량이 많거나, 여러 지점에서 동시에 누출이 발생하는 경우 흡수만으로 막기 어렵습니다.

예측하기 힘든 누출 사고에 즉각 대응할 수 있도록, 누출 구역 테두리를 둘러싸 확산을 막는 삭스부터 흡착 패드·필로우, 내화학 장갑, 폐기물 봉투 등이 세트화된 스필키트를 취급 구역 인근에 상시 비치합니다.

" 안전한 스필키트의 특징 "

1️⃣ 처리 인력을 보호하는 개인보호구
흡착·회수 작업을 하는 사람의 피부가 노출되지 않도록, 내화학 장갑 같은 보호구가 세트 안에 들어 있어야 합니다.

2️⃣ 화학물질에 맞는 흡착제 사용
산·알칼리·용제 등 현장에서 실제 쓰는 화학물질의 특성에 맞는 전용 흡착인지 확인합니다. 일반 수성·유성 흡착제는 강한 화학물질과 반응해 분해되거나, 오히려 오염을 유발할 수 있으니 주의해야합니다.

3️⃣ 확산을 막는 흡착 삭스
삭스는 누출 구역 테두리를 둘러, 화학물질이 더 넓게 확산되기 전에 가둡니다.

4️⃣ 뒤처리까지 완벽하게 폐기물 봉투
흡수한 화학물질과 오염된 자재를 그대로 밀봉해 처리할 수 있는 전용 폐기물 봉투가 포함해야합니다.

이는 클린룸 바닥 전체로 케미컬이 퍼져 청정 구역이 넓게 오염되는 것을 사전에 방지하는 역할을 하고 있습니다.

화학물질 안전은 하나의 설비만 준비한다고 끝나지 않습니다.

1️⃣ 내화학테이프

비산을 차단하고, 보호복 틈새까지 밀봉하기

2️⃣ 비상샤워기

사람에게 닿았다면 즉시 10초 이내 도달 가능한 위치에 설치하기

3️⃣ 케미컬 스필키트

바닥에 퍼졌다면 누출 시 스필키트로 대응하기

설비를 준비하는 것으로 끝내지 않고, 작업자가 비상설비의 위치와 사용 방법을 알고 있는지, 실제 비상대응 절차가 마련되어 있는지도 함께 확인해야 합니다.

마무리 | 반도체 안전 사고 미리 예방 할 수 있습니다.

클린룸에서는 웨이퍼와 장비를 보호하기 위해 청정도를 관리합니다.
하지만 화학물질을 사용하는 작업이 있다면 작업자의 노출 가능성과 사고 예방 및 사고 발생 후 대응 방법도 함께 살펴볼 필요가 있습니다.

처음의 질문으로 돌아가 보겠습니다.
"습기 및 오염 관리가 엄격한 클린룸에서는 어떤 안전용품을 사용해야 할까요?"

화학물질이 작업자의 피부나 눈에 노출된 상황에서는
세척 대응이 지체되지 않도록 비상대응 환경을 마련하는 것이 중요합니다.

결국 클린룸의 안전은 청정도와 작업자 안전 중 하나를 선택하는 문제가 아닙니다.
청정도를 관리하면서도 비상 상황에서는 작업자가 적절하게 대응할 수 있도록 설비의 위치와 배수, 주변 환경, 작업자의 대응절차까지 함께 설계하시기를 권장드립니다.

화학물질에 작업자가 노출되기 전 틈을 방어하고
만약 닿았다면 신속하게 세척할 수 있도록 준비하며
더 이상의 누출을 줄이는 사고 대응 방법을 참고하여

작업환경에 맞게 연결해 화학물질 안전관리의 출발점을 점검해보시기 바랍니다.

오늘 소개해드린 내용은 클린룸 화학물질 안전을 검토할 때 참고할 수 있는 일반적인 기준입니다.
실제 현장에 적용하실 때는 취급 화학물질의 종류, 클린룸 등급, 설비 배치 등 조건이 현장마다 다르기 때문에, 최종적으로 어떤 제품과 대응 체계가 우리 현장에 적합한지는 구매 전 담당 부서와 함께 직접 확인하시고 판단하시기를 권장드립니다.